第385章 一代机（2/2）

二代机，分步重复式等倍投影光刻机。

三代机，步进式缩小投影光刻机。

四代机，步进扫描式投影光刻机。

五代机极紫外光刻机，也就是EUV光刻机。

徐青青在书中不止一次的看到光刻机的发展史，甚至于对每一代机器都颇是熟悉。

当然这种熟悉，也只是大体上的。

比如说五代机的工程极为浩大，那简直是人类工业史的大联欢。

真正的设备，徐青青并没有见过。

只是对关键技术有所了解而已。

但她的那些了解，其实也只是皮毛罢了。

毕竟那是集结了人类最富有智慧的一帮人的聪明才智，才搞出了EUV光刻机。

科技的迭代，产品的更新。

全部汇聚于此。

那是人类工业与科技的最精萃所在，当之无愧的工业明珠。

此刻，这台诞生于金城军区研究所的接近式光刻机，在未来的五代机面前，就像是一个咿呀学语的小婴孩。

五代机若是狂妄点，大可对前辈们说，“你们一起上，我赶时间。”

前面四代机，都不够五代机一根手指头。

但毫无疑问，这是这个时代最为先进的光刻设备。

而且良品率的提升，意味着这台接近式光刻机已经是一代机的巅峰。

“如果我想要良品率达到95%……”

叶向盛皱了下眉头，“良品率提升只有两个办法，一个是提升晶圆纯度，另一个就是提高光刻机的性能。”

晶圆纯度的提升很有用，但这种有用十分有限，压根不可能让良品率实现质的飞跃。

所以最终还是要提升光刻机的性能。

“我们还缺好镜头。”

叶向盛跟徐青青提出了要求，“现在的镜头用着挺勉强的。”

“没问题，我来解决。”徐青青笑了起来，“还有其他要求吗？你有要求尽管提，我不怕你提要求，我就怕你不吭声。”

叶向盛被这话逗乐，“那光刻胶也得提升品质。”

“没问题。”

“另外现在的实验室不太够用，我想要大点的实验室。”

“没问题。”

“还有，能不能给大家放个假，最近这阵子太忙了，今天就放假半天，让大家休息下？”

“没问题，我等下批条子，你带着大家去食堂吃顿好的。”

徐青青第一次觉得，当后勤部的一把手还挺好。

起码开条子很方便。

叶向盛笑了起来，“行嘞，等大家伙休息好了，明天再撸起袖子加油干。”

“回头我让食堂那边多弄几只烤鸭，再搬几箱青岛啤酒过去，你们去敞开肚皮吃。”

她其实没想到叶向盛他们能这么快就搞出光刻机。

这固然有现在的接近式光刻机远没有后来的光刻机那般复杂的缘故。

但饶是婴儿学步的接近式光刻机，也是数学、物理、光化学、机械、化学、材料学多位一体的集大成者。

他们能在不到半年时间内搞出来，真的是拿命来拼啊。

固然有自己从那边研究所挖了一些原本就从事光刻机研究的专家过来。

他们直接参与工作，让叶向盛的团队少走了很多弯路。

但……

更多的还是把时间、精力全部投入到工作之中，这才有了今天的成果。

徐青青忍不住感慨，“你们这个团队潜能巨大，我相信你们一定能做出更好的光刻机，领先于世界！”

叶向盛迟疑了下，“这话能明天再说吗？”